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        萊伯泰科《硅片表面金屬離子國產檢測儀器首創項目》 獲中國檢驗檢測學會科學技術獎

        更新時間:2024-03-18      點擊次數:132

        近期,“2023年度中國檢驗檢測學會科學技術獎”獲獎名單公布,北京萊伯泰科儀器股份有限公司(簡稱“萊伯泰科”)憑借其《硅片表面金屬離子國產檢測儀器首創項目》榮獲科學技術進步獎二等獎。

         

        獲獎 

        該獎項由中國檢驗檢測學會設立,旨在表彰那些在檢驗檢測科學技術領域或相關領域,通過技術發明、科技進步、國際科技合作等活動,對推動檢驗檢測科學發展做出顯著貢獻的組織和個人。

        萊伯泰科于2021年5月和2023年3月分別推出了自主研發的LabMS 3000電感耦合等離子體質譜儀和LabMS 5000電感耦合等離子體串聯質譜儀,其技術成熟度與產品可靠性已經滿足國內集成電路制造企業對28nm以上制程硅片表面金屬離子檢測的需求,并已成功應用于半導體晶圓制造企業,在半導體行業有了巨大突破。

        萊伯泰科此次獲獎的《硅片表面金屬離子國產檢測儀器首創項目》成功解決了國產儀器在此領域的技術空白,有望打破國外技術的長期壟斷。該項目依托先進的ICP離子源技術、加強的離子傳輸系統和基于CAN總線的電控系統,實現了儀器的高效穩定運行及精準檢測,滿足了半導體硅片行業對極低檢出限的嚴苛要求。

        實驗 

        憑借在電感耦合等離子體質譜技術領域的豐富創新經驗,萊伯泰科一直致力于為半導體行業提供更加精準、高效的解決方案。今天的榮譽標志著萊伯泰科在科技創新道路上達到了新的里程碑。未來,萊伯泰科將繼續專注于高端科研設備的研發,努力推動科學儀器技術的持續進步,為行業的發展貢獻自己的智慧和力量。

        電感耦合等離子體質譜儀LabMS 3000 ICP-MS

        電感耦合等離子體質譜儀LabMS3000ICP-MS5432 

        l   強大:集成型高基質進樣系統,支持在線氬氣稀釋和有機樣品加氧除碳,從而減少樣品前處理時間并避免此過程中引入的各種污染

        l    精準:新一代碰撞反應池技術,消除棘手的多原子離子和雙電荷離子干擾,提升數據質量

        l   安全:具有多重安全防控以及定時維護日志,確保儀器在安全、可靠的狀態下運行,盡量減少計劃外的停機和提供安全保護

        l   智能:HiMass智能工作站,中英文語言實時切換,支持接入實驗室管理系統和定制報告模版,向導式設計更符合中國人操作習慣

        l      高效:與LabTech前處理設備無縫銜接實現一站式元素分析解決方案,使元素分析更高效、更準確、更安全

        LabMS 5000 電感耦合等離子體串聯質譜儀(ICP-MS/MS)

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        l    精準:MS/MS模式實現受控且可靠的干擾去除,精準去除質量干擾離子,從而獲得更低的檢測限和準確的超痕量分析結果。

        l    穩定:采用工業標準27.12MHz 全固態RF發生器,具有高穩定性及可靠性;優異的離子傳輸系統設計即使在MS/MS模式下也具有良好的檢測穩定性。

        l    可靠:通過 SEMI S2 認證,多達十重安全防護配置,帶來全面可靠的安全防護,保證儀器長時間安全可靠運行。

        l   強大:全基體進樣系統結合接口設計及加強離子傳輸系統,帶來強大的基體耐受性,即使高基體直接進樣也可有效降低信號漂移。

        l    易用:HiMass智能工作站,一鍵式,向導式、模塊化設計,界面簡潔直觀,易學易用,提高工作效率。

         

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